Garų sterilizatoriuose sterilizuoti naudojami aukšto{0}}slėgio garai. Pagrindinis principas yra panaudoti garų prasiskverbimo galią ir aukštą jo temperatūrą (paprastai nuo 121 iki 134 laipsnių), kad būtų sunaikinta mikroorganizmų baltymų struktūra, taip sunaikinant bakterijas, virusus, grybelius ir sporas. Konkretus procesas yra toks:
Garų generavimas: garų generatorius įkaitina vandenį iki aukštos temperatūros ir generuoja aukšto{0}}slėgio garus.
Sandarus sterilizavimas: aukšto{0}}slėgio garai įpurškiami į sandarią garų kamerą, visiškai uždengiant daiktus.
Šalto oro pašalinimas: oras iš garų kameros pašalinamas per išmetimo vožtuvą arba vakuuminį siurblį, kad garai visiškai prasiskverbtų į daiktus.
Pastovios temperatūros ir slėgio sterilizavimas: tam tikra temperatūra ir slėgis (pvz., 121 laipsnis ir 103 kPa) palaikomi tam tikrą laiką (paprastai 20–30 minučių), kad būtų užtikrinta veiksminga sterilizacija.
Išmetimas ir džiovinimas: Baigus sterilizuoti, garai išleidžiami per išmetimo vožtuvą. Kai kuriuose modeliuose yra džiovinimo funkcija, skirta greitai išdžiovinti daiktus.
